[拼音]：zhenkong jianlou

[外文]：vacuum leak detection

真空系统、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝、机械连接处存在孔洞、裂纹或间隙等缺陷，外部大气通过这些缺陷进入系统内部，致使系统、容器或器件达不到预期的真空度，这种现象称为漏气。造成漏气的缺陷称为漏孔。漏孔尺寸微小、形状复杂，无法用几何尺寸表示，因此在真空技术中用漏率来表示漏孔的大小。漏率是指单位时间内漏入系统的气体量，其单位为帕·米3/秒（Pa·m3/sec）或托·升／秒（Torr·L/sec）。

1Pa·m3/sec＝7.5（Torr·L/sec）

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。

指在温度为23±7、露点低于-25的干燥空气中，保持漏孔一端压强为100千帕±5％，另一端压强低于1千帕的状态下，经过校准后确定漏率的漏孔。常用标准漏孔有玻璃毛细管漏孔、薄膜渗氦漏孔、玻璃－白金丝漏孔、金属压扁漏孔、多孔金属或陶瓷漏孔和放射性漏孔等。

表内列出常用的真空检漏方法。

最常用的一种检漏法。用氦气作为示漏气体，以磁偏转质谱计作为检漏工具，工作原理与真空质谱计相同，差别仅在于氦质谱检漏仪使用的磁场和加速电压基本上是固定的，因为它只检测氦离子。另外，为了提高离子流的输出，适当牺牲分辨能力以降低对测量放大器的要求，所以这种检漏仪具有结构简单、灵敏度高、性能稳定、操作方便等优点。

氦质谱检漏仪的结构如图所示。

氦质谱检漏仪的主要技术指标有：

（1）灵敏度，又称小可检漏率，单位为帕·米3/秒；

（2）反应时间与清除时间，单位为秒；

（3）工作压强与极限压强，单位为帕。

根据被检漏的零件的具体情况采用不同的方法。真空容器或器件常用喷吹法、氦室法和累积法。喷吹法是用喷枪对可疑部分喷氦气，找出漏孔的位置，但效率较低；氦室法可对大容器检漏，将可疑部分用氦室罩上充入氦气，可以找到漏孔的大致范围，但漏孔位置不能精确确定。氦室法检漏效率较高。对于微小漏孔，可采用累积法，即先用氦室对可疑部分充入氦气，再将检漏仪节流阀关闭，积累一定时间，打开节流阀，观察离子流的变化。这样，检漏灵敏度可提高1～2个数量级。其他方法还有吸收法、背压法等。对于容积大、放气量大、漏率大的容器可采用反流检漏法，即将被检容器接在真空系统的扩散泵和机械泵之间，利用扩散泵的反流作用，使氦气反流到质谱室而进行检漏。

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